编号
zgly0000974751
文献类型
期刊论文
文献题名
微纳米加工净化间的环境维护与管理
作者单位
兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室
母体文献
实验科学与技术
年卷期
2015(1)
页码
176-177
年份
2015
关键词
高校
净化间
维护
管理
文摘内容
随着现代科技的发展,科研工作越来越需要与实际应用相结合,因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间,相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要。文中主要从净化间的环境控制、运行规范和人员管理等三个方面,讨论和阐述了如何使其安全良好运行,进而确保制备样品的质量,为高??蒲谢疃峁┍U稀?/em>